לחיישן זה יתרונות רבים כגון דיוק מדידה גבוה, מבנה קומפקטי, גודל קטן, משקל קל, התקנה קלה ואיתור באגים, היענות דינמית טובה ויכולת אנטי-הפרעות חזקה. לחיישן יכולות מדידה וניטור מרחוק ללא מגע, דיוק מדידה גבוה, ובדיקות אוטומטיות ברמה גבוהה ולקוחות פוטנציאליים חכמים הנתמכים על ידי מחשבים. בנוסף, לחיישן מבנה קומפקטי, קל להתקנה ואיתור באגים, אינרציית מדידה נמוכה, מהירות פעולה מהירה וביצועי תדר טובים. לחיישן זה יש יכולת תגובה דינמית טובה, אשר תורמת למדידה דינמית, חסרת רגישות לרעידות ועמידות חזקה לעומסים אקסצנטריים.
חיישנים נמצאים בשימוש נרחב בתחומים רבים. לדוגמה, חיישני MEMS נמצאים בשימוש נרחב במערכות כגון תוכניות יציבות אלקטרוניות (ESP) ומערכות למניעת נעילה (ABS) במכוניות.
(ECS) ובקרת לחץ אוויר בצמיגים. (TPMS). לחיישני MEMS יש יתרונות של מזעור, עלויות ייצור המוני נמוכות ואינטגרציה גבוהה. הם בחירות חשובות ליצירת רמה רגישה במערכת האינטרנט של הרכב.
לסוגים שונים של חיישנים יש גם מאפיינים ויתרונות משלהם. למשל, חיישני התנגדות רגישים ללחץ ומתאימים לפעולות הדורשות לחץ פיזי, בעלויות ייצור נמוכות יותר; החיישן הקיבולי משתמש במגע זיהוי שינוי קיבול, מתאים לפעולת מגע קל, רגישות גבוהה ורב תכליתי; תמיכה במגע; חיישני מגע אינפרא אדום משתמשים בטכנולוגיית אינפרא אדום לקביעת מיקומי מגע, המתאימים למסכים גדולים ושלטי חוצות דיגיטליים אינטראקטיביים ואינם רגישים לאור מסביב.
